2022 차세대 리소그래피 학술대회

2022 Next Generation Lithography Conference

The Next Decade Visioning for Lithography

Aug. 17 (Wed.) ~ 18 (Thu.), 2022
Suwon Convention Center, Suwon-si, Gyeonggi-do, Korea
Accompanying Event: ASML TechTalk [Aug. 19 (Fri.), 2022]
Panel Discussion
Agenda
2022년 8월 17일(수) 16:30~18:00 수원컨벤션센터 405-408호
주제: “EUV 리소그래피 생태계 어디까지 왔나?”
  • 좌 장
    안기현 전무(한국반도체산업협회)
  • 패 널
    박상일 대표(Park Systems), 김재현 펠로우(SK hynix), 이상설 교수(포항공대 가속기연구소),
    김병국 대표(ESOL), 이승훈 대표(Youngchang Chemical), 신철 부사장(S&S TECH),
    권석준 교수(성균관대), 김학용 박사(KRISS)
시 간 프로그램 내용
16:30 개    회 개회 및 패널 소개
발제발표 (안기현) 반도체산업의 최근이슈 및 공급망 검토
16:45 주제발표 (이상설) 국내 EUV 인프라 구축 현황과 발전 방향
(김병국) EUV 산업 생태계와 EUV 장비 국산화의 의미
(이승훈) EUV rinse chemical 적용 현황 및 성능 upgrade
(신   철) EUV 소재 개발에서의 current supply chain status
(권석준) EUV 및 EUV-multi patterning 용 photoresist 및 절연체 소재 개발 전략
(김학용) EUV 반사경의 핵심기술과 확보방안 모색
17:15 지정토론
  • EUV 기술에 대한 각 분야별 국산화의 현재 상황은?
  • 국산화를 위한 어려움은 무엇인가? (국내 개발 여건은?)
  • 수요업체와 개발업체와의 시각차는 얼마나 되나?
    (서로 다른 곳을 보고 있는 것은 아닌가?)
  • 국산화가 불가능한 분야가 있는가?
  • 국산화를 위해 정부와 업계가 해야 할 일은 무엇인가?
  • 지속적인 우수인력양성을 위한 방안은?
17:45 자유토론 청중 질의 및 패널 답변
18:00 폐    회 정리 및 폐회
Chair
안기현 (한국반도체산업협회) Ki Hyun Ahn (KSIA)

  • 전무/사무국장, 한국반도체산업협회/연구조합 (2004~)
  • KAIST 나노종합기술원 (2002~2004)
  • SK하이닉스 반도체연구소 (1994~2001)
  • 성균관대학교 산업공학과 학사, 석사, 박사

Panelists
박상일 (파크시스템스) Sang-il Park (Park Systems Corp.)

  • Founder, Chairman and CEO of Park Systems Corporation
  • Member, Presidential Advisory Council for Science and Technology and on the Future Preparation Committee in Korea
  • Ph.D., Stanford University (1987)
  • B.S., Seoul National University (1981)

김재현 (SK하이닉스) Jae Hyun Kim (SK hynix)

  • Fellow, Future Tech. R&D Center, SK hynix (2021~)
  • GL, Foundry division, Samsung Electronics (2014~2019)
  • Expatriate, Samsung Austin Semiconductor (2013~2014)
  • PL, Memory division, Samsung Electronics (2000~2012)
  • EMBA, Tsinghua-INSEAD Executive MBA (2019~2022)
  • Ph.D., Seoul National University (2000)

이상설 (포항가속기연구소/포스텍) Sangsul Lee (Pohang Accelerator Laboratory/POSTECH)

  • Head, EUV metrology & inspection, Pohang Accelerator Laboratory, POSTECH (2019~)
  • Senior scientist, Conj. Faculty, Pohang Accelerator Laboratory, POSTECH (~2015)
  • Founder, CTO, Xavisoptics (2017~)
  • Postdoctoral fellow scientist, Paul Scherrer Institute (2012-2015)
  • Research Professor, Department of Electrical Engineering, Hanyang University (2009-2012)
  • Ph.D., Hanyang University (2012)
  • M.S., Hanyang University (2007)
  • B.S., Hanyang University (2005)

김병국 (이솔) Byung Gook Kim (ESOL, Inc.)

  • [2019-現] 주식회사 이솔 대표이사 / CEO
  • [2008–2019] 삼성전자 Mask 개발팀 프로젝트 리더
  • [1995-2007] 삼성전자 반도체 연구소 Photomask팀 책임
  • [2001-2003] (日) SELETE (반도체 첨단 테크놀로지) 파견 연구원
  • [2000-2001] (美) 벨 연구소 파견 연구원
  • [2014-現] (美) SPIE Photomask Technology & EUV Lithography 프로그램 위원
  • [2012-現] (日) Photomask Japan 프로그램 위원
  • [2020-現] 차세대 리소그래피 학술대회 조직위원
  • Indiana Univ. Kelley Business School MBA
  • 연세대학교 화학과 학사, 석사

이승훈 (영창케미칼) Seung hun Lee (Youngchang Chemical)

  • [2001 - 現] 영창케미칼㈜ 대표이사 사장
  • [1999 - 2001] 영창케미칼 연구소장
  • 연세대학교 경영학석사(EMBA)
  • 영남대학교 화학공학 박사
  • 경북대학교 전자재료공학 석사

신철 (에스앤에스텍) Chul Shin (S&S TECH)

  • 부사장, 에스앤에스텍 (2013~)
  • Photronics (2009~2013)
  • Dupont photomask (2002~2007)

권석준 (성균관대) Seok Joon Kwon (Sungkyunkwan Univ.)

  • 조교수, 성균관대 화학공학부(2021~)
  • 책임연구원, 한국과학기술연구원 (KIST) 첨단소재연구본부 (2004~2021)
  • 부교수, 과학기술연합대학원 (UST) NT-IT 융합전공 (2018~2021)

김학용 (한국표준과학연구원) Hagyong Kihm (KRISS)

  • 한국표준과학연구원 우주광학팀 팀장 (2007~)
  • Post Doc., UC Irvine, Beckman Laser Institute (2006~2007)
  • 한국과학기술원 기계공학과 석, 박사 (2005)
  • 연세대학교 기계설계학과 학사 (1999)