| 조직위원회 위원 명단 |
| (총괄)위원장: 박종락(조선대), 안진호(한양대) |
| (소위원회)(가나다순) |
| 총무위원회 |
위원장 |
남정림(한양대) |
| 위원 |
김대근(단국대), 김병국(이솔), 이병호(히타치하이테크) |
| 재무위원회 |
위원장 |
여정호(AMAT) |
| 위원 |
이병규(삼성전자), 이혁교(KRISS), 정용철(KITECH), 최준혁(KIMM) |
| 출판위원회 |
위원장 |
이대호(가천대) |
| 위원 |
백동현(선문대), 전병환(인하대), 정연식(KAIST) |
| 논문상심사위원회 |
위원장 |
김성환(아주대) |
| 위원 |
이상설(포항공대 가속기연구소), 이준호(공주대), 이진균(인하대) |
| 자문위원회 |
위원장 |
김향균(홍익대) |
| 위원 |
강경태(KITECH), 김성수(연세대), 김재순(명지대), 김호섭(선문대), 오혜근(한양대), 이승걸(인하대), 조한구(FST), 한재원(연세대) |
| 프로그램위원회 위원 명단 |
| (총괄)위원장: 이병호(히타치하이테크), 이준호(공주대) |
| (분과위원회)(가나다순) |
| Optical and EUV Lithography |
위원장 |
이상설(포항공대 가속기연구소) |
| 위원 |
강영석(삼성전자), 김령한(imec), 김병국(이솔), 김성수(연세대), 김후식(뷰웍스), 남정림(한양대), 문성용(FST), 박종락(조선대), 승병훈(S&S TECH), 안진호(한양대), 여정호(AMAT), 이윤우(KRISS), 이혁교(KRISS), 임창문(SK하이닉스), 장재혁(삼성디스플레이), 전영민(KIST), 정수화(LG전자), 최성운(HIMS), 최성원(FST), 최정동(TechInsights), 최진(삼성전자), 한재원(연세대), 황찬(삼성전자) |
| Patterning Materials and Processes |
위원장 |
이진균(인하대) |
| 위원 |
김현우(삼성전자), 유정윤(Versum Materials), 임재봉(DuPont), 장지현(UNIST), 전성호(LG화학), 정진욱(한양대), 정진항(ASML), 정현담(전남대) |
| Alternative Lithography and Nano Fabrication |
위원장 |
이승우(고려대), 전석우(KAIST) |
| 위원 |
강경태(KITECH), 김대근(단국대), 김명기(고려대), 김성환(아주대), 노준석(포항공대), 이대호(가천대), 이병규(삼성전자), 정건영(GIST), 정연식(KAIST), 정용철(KITECH), 최준혁(KITECH) |
| Computational Lithography |
위원장 |
양현조(ASML) |
| 위원 |
김철균(SK하이닉스), 서정훈(ASML), 신영수(KAIST), 안창남(Siemens EDA), 양승훈(삼성전자), 오혜근(한양대), 이승걸(인하대), 최병일(Synopsys) |
| Metrology and Inspection |
위원장 |
이명준(삼성전자) |
| 위원 |
김대석(전북대), 김욱래(삼성전자), 김재순(명지대), 김재완(KRISS), 김향균(홍익대), 김호섭(선문대), 마성민(SK하이닉스), 박동운(SEMES), 박병천(KRISS), 박영욱(선문대), 박용준(삼성디스플레이), 백동현(선문대), 송윤호(ETRI), 안승준(선문대), 유우식(WaferMasters), 이성우(Carl-Zeiss),
이영미(SEMES), 이종규(미래로시스템), 임선종(KIMM), 전병환(인하대), 주기남(조선대), 진종한(KRISS) |
